【供面板使用之實驗及量產設備】
•
曝光機精度:
TFT等級1.5um〜5um的,CF等級7um,TP等級10um的
• 基板尺寸:
實驗線設備:100mm×100mm;200mm×200mm
• 量產線設備:
G2.5〜G4.5
【太陽能電池廠使用之電漿輔助化學氣相沈積(PECVD)】
• 廠牌:Centrotherm、R&R、OTB等..
• 太陽能基板尺寸:6"
• 管式設備管數:3~4管
• 板式設備plasma source:4~8
• 產能:1500~2400pcs/hr